扫描电子显微镜（SEM）扫描电镜成像是使用细聚焦高能电子束在样件外貌引发种种物理信号，如二次电子、背散射电子等，通过相应的检测器来检测这些信号，信号的强度与样品外貌形貌有一定的对应关系，因此，可将其转换为视频信号来调制显像管的亮度获得样品外貌形貌的图像。SEM事情图入射电子与样品中原子的价电子发生非弹性散射作用而损失的那部门能量（30～50eV）引发核外电子脱离原子，能量大于质料逸出功的价电子从样品外貌逸出成为真空中的自由电子，此即二次电子。电子发射图二次电子探测图二次电子试样外貌状态很是敏感，能有效显示试样外貌的微观形貌，分辨率可达5～10nm。
二次电子扫描成像入射电子到达离核很近的地方被反射，没有能量损失；既包罗与原子核作用而形成的弹性背散射电子，又包罗与样品核外电子作用而形成的非弹性背散射电子。背散射电子探测图用背反射信号举行形貌分析时，其分辨率远比二次电子低。可凭据背散射电子像的亮暗水平，判别出相应区域的原子序数的相对巨细，由此可对金属及其合金的显微组织举行身分分析。EBSD成像历程透射电子显微镜（TEM）透射电镜是把经加速和聚焦的电子束投射到很是薄的样件上，电子与样品中的原子碰撞，而改变偏向，从而发生立体角散射。
散射角的巨细与样品的密度、厚度相关，因此，可以形成明暗差别的影像，影像将在放大、聚焦后在成像器件上显示出来。TEM事情图TEM成像历程STEM成像差别于平行电子束的TEM，它是使用聚集的电子束在样品上扫描来完成的，与SEM差别之处在于探测器置于试样下方，探测器吸收透射电子束流或弹性散射电子束流，经放大后在荧光屏上显示出明场像和暗场像。STEM分析图入射电子束照射试样外貌发生弹性散射，一部门电子所损失能量值是样品中某个元素的特征值，由此获得能量损失谱（EELS），使用EELS可以对薄试样微区元素组成、化学键及电子结构等举行分析。
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